隨著計算機科學的發(fā)展，從20世紀70年代開始，國際上許多研究工作者用計算機模擬方法研究薄膜的形成過程。利用計算機模擬薄膜形成過程時大體可以采用兩種方法:蒙特卡羅方法和分子動力學方法。
    蒙特卡羅(Monte Carlo)方法又稱隨機模擬法或統(tǒng)計試驗法。用這種方法處理問題時，首先要建立隨機模型，然后產生一系列隨機數(shù)用以模擬這個過程，*再作統(tǒng)計性處理。在模擬薄膜形成過程時，將氣相原子人射到基體上、吸附、解吸，吸附原子的凝結、表面擴散、成核、形成聚集體和形成小島等都看為獨立過程并作隨機現(xiàn)象處理。
    分子動力學(molecular dynamics)方法是一種較老的方法。在這種方法中對系統(tǒng)的典型樣本的演化都是以時間和距離的微觀尺度進行的。