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薄膜的小島階段

    隨著小島不斷成長,小島間距離逐漸減小,*相鄰小島可相互結(jié)合并成為一個大島,如圖5一10所示。小島合并長大后,在基片表面上占據(jù)面積減小,表面能降低,基片表面上空出的地方可再次成核。島的合并與固相燒結(jié)相類似。假設(shè)兩個小島都是半徑為r的球形,結(jié)合部曲率半徑為r',小島接觸后經(jīng)歷時間為t,它們之間的關(guān)系可用下式表示:

式中V是原子體積,n是吸附原子在島上的表面密度,D是吸附原子擴散系數(shù),是表面自由能,n和m為常數(shù),k是玻耳茲曼常數(shù),T是*溫度。

 

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